Dünnschichtbatterien: Herstellung und Testverfahren

Informationen zu den Geräten zur Herstellung und zum Testen von Dünnschichtbatterien

Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)

Ar-Ionen Sputter-Anlage 1

  • DC Kaufmann-Ionenquelle (Veeco)
  • Nur für Metalle
  • Anlage für hohe Reinheiten (ohne Schleuse)

Ar-Ionen Sputter-Anlage 2

  • DC Kaufmann-Ionenquelle (Roth&Rau)
  • Nur für Metalle
  • Mit Schleuse für schnellen Durchsatz

Ar-Ionen Sputter-Anlage 3

  • RF-Ionenquelle (Roth&Rau)
  • Für Metalle, Oxide und Nitride (reaktive Gase: O2, N2)
  • Mit Schleuse für schnellen Durchsatz

Mini Magnetron Sputter-Anlage

Gloveboxen für Präparation der elektrochemischen Messzellen

MBRAUN UNIlab - Model Plus SP -

  • Reinheit: H2O < 1 ppm, O2 < 1 ppm
  • 1950 mm (W) x 780 mm (D) x 920 mm (H)
  • Schleuse: < 5x10-2 mbar
  • Boxdruck: ± 15 mbar
  • Integrale Leckrate: <10-5 mbar l/s
  • Automatische Regeneration
  • 36 l O2 & 1300 g H2O können beseitigt werden

MBRAUN - Model MB150 B-G-II -

  • Reinheit: H2O < 1 ppm, O2 < 1 ppm
  • Schleuse: < 10-4 mbar
  • Integrale Leckrate: <0,1 vol% / h
  • Boxdruck: ± 20 mbar
  • Gebläseleistung: 50 m3/h
  • Von vorne und hinten bedienbar
Neues Setup für die Analyse der Li-Diffusion (oben: Foto; unten: schematisch)

Testverfahren für Dünnschichtbatterien

Potentiostaten

  • VSP-300 (BioLogic Science Instruments):
    • 6 Kanäle
    • Messung in elektrochemischen Zellen oder in der Glovebox möglich
  • Interface 1000 (Gamry Instruments):
    • Mit elektrochemischer Quartzkristall Mikrowaage: Gamry’s eQCM 10M™
    • Temperaturmessung
    • Mit optischem Mikroskop (10x) und Messzelle für Beobachtung elektrochromer Vorgänge (siehe Bild)
Neues Setup zur Beobachtung von optischen Veränderungen in Li-Ionenelektroden (links: Foto; rechts: schematisch)

In operando optische Reflektometrie

  • Kompakte stabilisierte Breitbandlichtquelle (Thorlabs)
  • UV-Vis NIR Spektrometer Exemplar® (BWTEK): 425 nm bis 1000 nm

Weißlichtinterferometer zygo

Dieses Bild zeigt Yug Joshi

Yug Joshi

Dr.

Entwicklung von optischen Schaltern mittels Elektrochromie

Dieses Bild zeigt Patrick Stender

Patrick Stender

Dr.

Sr. Wissenschaftler

Dieses Bild zeigt Guido Schmitz

Guido Schmitz

Prof. Dr. Dr. h.c.

Abteilungsleiter

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