Weitwinkel Tomographische Atomsonde (WATAP)
- Basisspannung < 15 kV
- Verdampfung durch Laser- (siehe unten) & Spannungspulse:
- Pulsspannung < 3.5 kV
- Pulsfrequenz: < 200 kHz
- Pulsbreite: 5 ns
- Fluglänge: 30 cm
- Durchmesser der MCPs: 12 cm
- Öffnungswinkel: ~25°
- Temperatur: > 40 K
- Zusätzliche Reaktionskammer:
- Gase: H, CO, O2 ...
- Temperature: < 450 °C
Micro-Electroden Tomographische Atomsonde (METAP)
- Basisspannung: < 15kV
- Verdampfung durch Laserpulse (siehe unten)
- Durchmesser der optischen Mikroelektroden: 10 - 50 μm
- Temperatur: > 30 K
- Fluglänge: 13 cm
- Durchmesser der MCPs: 12 cm
- Öffnungswinkel: 30°
Modulare Tomographische Atomsonde (M-TAP)
- Kleinst Atomsonde mit nur einer Hauptvakuumkammer und einer Schleuse für eine direkte Verbindung ans FIB-SEM Scios
- Basisspannung: < 15 kV
- Verdampfung durch Laserpulse (siehe unten)
- Detektoren:
- Effizienz > 80%
- Triple Stack, Delay Line
- Durchmesser der MCPs: > 75 mm
- Fluglänge: 10,5 cm
- Messrate: 107 Atome/h
- Temperatur: > 20 K
- Öffnungswinkel: 40°
- Transfershuttle auf hochgenauer 6-achsiger Piezostage (X, Y, Z, Rotation X, Rotation Y, Rotation Z)