Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Ar-Ionen Sputter-Anlage 1
- DC Kaufmann-Ionenquelle (Veeco)
- Nur für Metalle
- Anlage für hohe Reinheiten (ohne Schleuse)
Ar-Ionen Sputter-Anlage 2
- DC Kaufmann-Ionenquelle (Roth&Rau)
- Nur für Metalle
- Mit Schleuse für schnellen Durchsatz
Ar-Ionen Sputter-Anlage 3
- RF-Ionenquelle (Roth&Rau)
- Für Metalle, Oxide und Nitride (reaktive Gase: O2, N2)
- Mit Schleuse für schnellen Durchsatz
Mini Magnetron Sputter-Anlage
Gloveboxen für Präparation der elektrochemischen Messzellen
MBRAUN UNIlab - Model Plus SP -
- Reinheit: H2O < 1 ppm, O2 < 1 ppm
- 1950 mm (W) x 780 mm (D) x 920 mm (H)
- Schleuse: < 5x10-2 mbar
- Boxdruck: ± 15 mbar
- Integrale Leckrate: <10-5 mbar l/s
- Automatische Regeneration
- 36 l O2 & 1300 g H2O können beseitigt werden
MBRAUN - Model MB150 B-G-II -
- Reinheit: H2O < 1 ppm, O2 < 1 ppm
- Schleuse: < 10-4 mbar
- Integrale Leckrate: <0,1 vol% / h
- Boxdruck: ± 20 mbar
- Gebläseleistung: 50 m3/h
- Von vorne und hinten bedienbar
Neues Setup für die Analyse der Li-Diffusion (oben: Foto; unten: schematisch)
Foto: Dr. Yug Joshi
Testverfahren für Dünnschichtbatterien
Potentiostaten
- VSP-300 (BioLogic Science Instruments):
- 6 Kanäle
- Messung in elektrochemischen Zellen oder in der Glovebox möglich
- Interface 1000 (Gamry Instruments):
- Mit elektrochemischer Quartzkristall Mikrowaage: Gamry’s eQCM 10M™
- Temperaturmessung
- Mit optischem Mikroskop (10x) und Messzelle für Beobachtung elektrochromer Vorgänge (siehe Bild)
Neues Setup zur Beobachtung von optischen Veränderungen in Li-Ionenelektroden (links: Foto; rechts: schematisch)
Foto: Dr. Yug Joshi
In operando optische Reflektometrie
- Kompakte stabilisierte Breitbandlichtquelle (Thorlabs)
- UV-Vis NIR Spektrometer Exemplar® (BWTEK): 425 nm bis 1000 nm
Weißlichtinterferometer zygo
Guido Schmitz
Prof. Dr. Dr. h.c.Abteilungsleiter
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