Transmissionslektronenmikroskope (TEM)
Spectra 300 (Thermo Fisher Scientific)
Betrieb im Rahmen des Forschungsverbunds AMICA:
- Schottky-FEG (30, 80, 200 und 300 kV)
- Cs S-CORR Probenkorrektor für optimalen STEM-Betrieb
- Punktauflösung: 100 pm (TEM @300 kV) | 50 pm (STEM @300 kV) | 125 pm (STEM @30 kV)
- Monochromator (mit Autoalignment): z.B. 0,14 nm Spotsize bei 0,3 eV, 0,5 nA @300 kV | 0,14 nm Spotsize bei 0,2 eV, 0.1 nA @ 60 kV
- STEM-Detektoren (BF, ADF, HAADF, iDPC)
- 4D-STEM Direktelektronendetektor Quantum Merlin 1R (bis zu 2400 Hz und ab 24 bit/px)
- Ceta 16M Kamera (4K x 4K bei 40 fps und 512x512 mit 320 fps)
- Super-X EDS-System (<136 eV, 0,7 sr, Fiori-Zahl > 4000)
- EELS Continuum S/1077 Spektrometer (< 2600 Spektren/s im Bereich 30-300 kV)
- Gatan Elsa Kryotransferhalter + Pumpstation
- Tomographiehalter für Tomographie-Kippserien mit Kippwinkeln von mindestens ±70°
- In-situ Halter (Fusion Select MEMS von Protochips) für Heizen und simultane elektr. Messungen
- Weitere Probenhalter: einfacher Probenhalter, zwei analytische Doppelkipphalter (mit Hexring und Klippmechanismus)
- NanoMEGAS-System (kompatibel mit Merlin 1R STEM-Detektor)
CM-200 (Philips)
- Schottky FEG (160, 200 kV)
- Cs: 1,2 mm
- Super-Twin Linse
- Informationslimit: 0.10 nm, Punktauflösung 0.24 nm
- Strahlstrom: z.B. 0.3 nA bei 1 nm Strahl | 15 nA bei 10 nm Strahl
- STEM-Mode
- Einfacher Probenhalter, zwei Doppelkipphalter, APT-Spitzen Halter
- SUTW EDX System von EDAX
Rasterelektronenmikroskope (TEM)
- Schottky-FEG (0,2 bis 30 kV), Strahlstrom: 1 pA - 400 nA, Auflösung: 1,0 nm bei 15 kV
- Feldemissions-Ionenoptik mit Ga- Ionenemitter (0.5 bis 30 kV), Strahlstrom: 0,6 pA - 65 nA
- Motorische Verfahrwege: x,y = 110 mm, z = 65 mm, Kippung: -15° bis +90°
- Low Vakuum Umgebung möglich
- Gas-Injektior-System (Pt, C, SCM)
- Detektoren: Trinity Detektionssystem, ETD, rückziehbarer CBS BSE, Gaseous Analytical Detektor, ICE
- IR-CCD Kamera
- Pixeldichte 4-stufig wählbar bis 6144 x 4096 Pixel
- Beam Deceleration und Ladungsneutralisator
- EasyLift Nanomanipulalator EX
- Ladestation für TEM Grids
- Software: AutoSlice and View, Avizo
- EDAX Team EDX System (Octane Super SDD)
- EDAX Team EBSD System (Hikari XP CCD Kamera)
- Cryo-Probenhalter und Cryo Interlock Kit
- Direkte Anbindung an Modular TAP
- Wolfram Kathode (0,2 - bis 30 kV)
- Strahlstrom: bis 2 μA
- Auflösung: 3 nm bei 30 kV
- Hochvakuum: <6x10-4 Pa, ESEM: 10 - 2600 Pa
- Motorische Verfahrwege: x,y = 50 mm, z = 25 mm, Kippung: -15° bis +75°
- Detektoren: ETD, GSED, Large Field GSED, DBS RE Kontrast Detektor
- CCD-Kamera
- Pixeldichte 4-stufig wählbar bis 6144 x 4096 Pixel
- SDD EDX-System
- Heiztisch bis 1000°C
- Auxiliary Gas Kit
- Kleindiek Nanotechnik MM3A-EM Mikromanipulator
Guido Schmitz
Prof. Dr. Dr. h.c.Abteilungsleiter
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